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1. 真空度的要求?
2. 样品尺寸?
3. 样品分辨率要求?
4. 温度范围要求?
5. 探针操作装置数量?
6. 探针操作精度要求?
7. 测试类型:如直流或高频?
8. 测试精度:如fA/pA/nA的要求?
9. 其它预留接口要求?如光纤接品?压力传感器接口?
10.其它组件的配置?
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